随着先进封装向大尺寸、高密度互连和高频高速方向演进，玻璃基板凭借良好的尺寸稳定性、低介电损耗及对TGV互连工艺的适配潜力，正从材料验证逐步进入工艺开发与工程化验证阶段。

在TGV玻璃基板工艺中，电镀填充后的CMP并非单纯去除表面铜层，还需要同步关注表面余铜（Cu overburden）去除、通孔区域局部凹陷（Dishing）、总厚度变化（TTV）、翘曲（Warp）、表面缺陷及后续RDL工艺适配性。这些指标相互关联，直接影响后续光刻、重布线和高密度互连的工艺窗口。

近期，矽加半导体协助国内某头部玻璃基板企业，围绕TGV玻璃基板CMP开展系列工艺验证。基于客户样品结构、镀层状态及目标要求，团队针对CMP及特定需求下的双面抛光方案，进行了多轮参数和工艺条件优化。

TGV玻璃基板CMP：不止于去除表面余铜

TGV填充后，玻璃基板表面会形成电镀铜层。CMP首先需要完成表面余铜去除，同时控制通孔区域的局部凹陷和表面形貌。

对于玻璃—铜复合结构而言，两种材料在机械去除和化学反应行为上存在差异，抛光液体系、供液方式、抛光压力、转速、抛光垫状态及加工时间等参数需要进行协同匹配。

如果Dishing过大，可能压缩后续RDL制作、光刻对焦及精细线路加工的工艺窗口。因此，CMP工艺的核心并不只是去除铜层，而是在铜层去除、局部形貌控制和整体面型改善之间建立合理的工艺平衡。

CMP为基础，双面抛光满足特定需求

在TGV玻璃基板加工中，CMP通常承担工作面表面余铜去除和表面平坦化的主要任务。通过对抛光液体系、供液条件、压力、转速和抛光垫状态进行匹配，可针对不同铜层厚度、通孔结构和来料状态开展工艺调整。

对于部分对整体面型、TTV或Warp控制提出更高要求的样品，在CMP基础上，还可进一步导入双面抛光工艺。双面抛光通过对样品正反两面的协同加工，作为特定需求下的补充工艺方案，进一步改善样品整体面型和Warp表现。

多轮工艺迭代，优化关键参数组合

针对本次客户样品，矽加团队围绕以下关键环节进行了调整：

本次调试并非孤立调整单一参数，而是围绕设备、耗材、材料和工艺条件进行协同匹配。经过多轮验证，团队完成了针对该类样品的工艺条件筛选，初步建立了Cu层去除、局部凹陷控制与整体面型改善之间的参数关联。

关键验证结果

在特定样品结构、镀层状态及工艺条件下，本次阶段性验证取得了以下结果：

其中，孔中心凹陷由16—18μm收敛至0.3—0.6μm，是本次工艺优化的重要结果。这一变化与抛光垫状态、浆料化学反应、氧化剂比例、机械去除作用、供液稳定性及加工时间等因素的协同调整有关。

从设备能力到工艺适配

对于玻璃基板CMP而言，设备本体是工艺实现的基础，但最终加工结果还取决于设备参数、耗材体系、材料状态和过程控制之间的匹配程度。

矽加此次验证覆盖了设备参数调整、耗材与供液条件匹配、加工结果检测及工艺反馈优化等环节，能力范围不只体现在完成铜层去除，也体现在对局部形貌、整体面型和工艺窗口的综合控制。

针对不同样品的结构、尺寸、通孔状态、电镀厚度及目标指标，矽加可结合实际需求进行工艺适配：以CMP完成工作面铜层去除和表面平坦化，或针对特定整体面型和翘曲要求引入双面抛光进行补充优化。同时，通过抛光液、供液系统、抛光垫、压力和转速等条件匹配，改善Dishing及表面形貌，并结合测试结果持续调整工艺条件，提升设备与工艺方案对不同样品的适配能力。

这类设备与工艺协同能力，对于TGV玻璃基板后续导入RDL、光刻及高密度互连工艺具有重要意义。

玻璃基板从材料验证走向工程化应用，仍需持续解决不同结构、不同来料状态及不同目标指标下的加工适配和工艺稳定性问题。未来，矽加将继续围绕半导体及先进封装领域的高精密切、磨、抛装备与工艺应用，为TGV玻璃基板、晶圆及其他先进封装材料的工程化应用与规模制造提供精密加工支持。

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